微振動控制實驗室成立於2001年10月，主持人為劉雲輝博士，目前有研究生五人與大學部專題生16人。本實驗室成立宗旨為培養學生具備『振動量測、分析、與控制』之專業知識與『機電整合』研發能力，研究方向則以『振動主動控制』為主，其應用產業包括半導體、TFT-LCD、光電、以及微奈米研究相關領域。涵蓋之基礎技術包括量測與控制系統軟硬體元件之開發設計與機電系統整合，舉凡與主被動隔振系統有關之光學式振動量測系統、壓電材料應用研究、電磁式與氣墊式致動器、軟體工程、控制系統、遠距監控系統、自動光學檢測與精密定位系統等，都是我們積極投入的研究領域。

        三次元量測與奈米定位實驗室成立於2001年10月，宗旨為培養學生具備『三次元座標量測』與『超精密定位』之專業技術，目前有BEYOND-A707 三次元測定機一台，除了作為本校師生教學與研究之用外，

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研究方向：

I.             振動主動控制系 統

II.           噪音主動控制系統

III.         光學式振動量測系統

IV.        電磁式與氣墊式致動器

V.           被動式隔振平台

VI.        水下聲學

VII.      超音波應用

建 議 螢 幕 解 析 度  1024 * 768