近年來隨著各種高科技產業製程越來越精密，相關的儀器設備對於環境振動隔離的要求也越來越嚴格。在半導體產業有許多設備都必須考慮降低環境振動，如曝光設備scanner、stepper，檢驗設備SEM、SPM、TEM、橢圓偏光儀等等，幾乎每一台設備都需要安裝隔振系統。

傳統被動式隔振系統多半是以氣墊彈簧或者是鋼圈彈簧阻成，有些會再加入阻尼以降低自然頻率的共振效果。適當的設計通常可以隔離頻率在3、4 Hz以上的振動，而且越高頻率的振動隔離效果越佳。對於結構第一自然頻率超過20、30 Hz的多數儀器設備而言，這些無法隔離而傳遞上來的低頻率地板振動在經過設備儀器結構體時，已經大幅衰弱而沒有明顯的影響。

振動的控制方法主要為：被動式(Passive)與主動式(Active)的控制方法。過去傳統中振動問題之防治，大多使用被動式的控制方式，此係將隔振元件與吸振材料之組合體，置於振動源或是對振動敏感的精密儀器設備的基座上，利用吸振材料的吸振性質將振動能量吸收，或由隔振元件予已隔絕。此種方法通常對於中高頻的振動有很好的效果，但對較低頻振動，則因受限於傳統隔振系統的自然頻率的特性，在低於的頻率範圍振動無法予以抑制。