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積體光學實驗室主要是以自行研製的各種光學感測器，及光電量測系統作為發展的基本方向:

研究成果

研究主軸

積體光學實驗室以發展光電系統整合研究與應用為主:

A.關鍵元件:

    a.相位調制器(ZIPM):

• 在光學相位量測技術中，主動式的相位調制與解調，在高速及高解析度量測系統中為不可或缺的元件，一般有電光、聲光及光彈調制器等。本實驗室提出一具抗光折且低電壓操作之鈮酸鋰鋅擴散光波相位調制器(ZIPM)，而此自製之調制器也實驗證明比商用的電光調制器更優異。同時發展內差(Homodyne)及外差(Heterodyne)干涉術之各種相關應用。

• 利用此ZIPM也同步整合單一波導感測器，在各種檢測條件下對於積體化光學感測晶片應用驗證研究。

   b.光雙折感測器(Birefringence Sensor):

• 在光學相位量測中，表面電漿共振(SPR)及全反射(TIR)原理為常用的量測方法，廣泛應用在各種物理參數或是生化反應之動態監測研究。本實驗室出抗光折且具光雙折性之非線性光學晶體(MgO:LN及KTP)，利用光雙折原理，作為葡萄糖溶液濃度、腐蝕性化學溶液濃度，精密角度等物理參數之量測應用。

• 感測器的綠能: 應用利用一般光雙折材料--軟性PET(聚乙烯對苯二甲酸酯 ;Polyethylene Terephthalate)，研究在可拋式感測器之應用。目前已經初步發現膠水固化量測上，已可以展現其監測折射率動態之便利性。未來朝向發展血液凝血量測相關研究為目標。

B.訊號處理平台:

l   利用美商國家儀器公司(National Instruments)所發展的LabVIEW虛擬儀表程式平台，對於量測系統的多工應用而言，在訊號接收與後續資料處理上提供了極為便利的擴充性，也以自行開發相關介面程式，應用在內差干涉術為主的量測。

l   在泛用型的多通道相位量測上，開發旋光相位量測儀，光雙波長，光學元件熱光效應，雙極化，晶體光折動態量測，雙通道，波導相位穩定度量測等領域。

C.新穎光電應用:

l   近年來積極發展光電量測，加上半導體產業的經驗，以及鄰近台南科學園區之便，以期能將光電量測技術應用在半導體製程之監測。

l   針對基板的遠端溫度量測技術也有初步實驗結果，同時也正研發究具化學穩定性光雙折材料，在腐蝕性化學流體濃度監測系統之開發，作為濕蝕刻製程之監測。

D.技術更新應用:

l   以量測設備而言，國內主要是依賴國外設備輸入，已有明顯的市場應用需求，而且設備規格也明確。本實驗室之研究主要是以自有的技術切入，在規格、穩定度及價格上若能有競爭優勢，即將研究成果後續商品化。

l   目前也開發一新穎的掃描式旋光相位量測系統，與現有強度式旋光量測儀(Polarimeter)比較具有較佳的旋光角度解析率。